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江苏海思第17台光刻设备出口欧洲,8英寸机型同步发运

摘要

江苏海思半导体一台全自动光刻机通过境外客户验收,将发往欧洲,成为其自2024年以来出口的第17台设备。同期另有一台8英寸全自动光刻机完成验收并发运,用于硅基Micro LED晶圆图形化制程。

国产半导体设备出海再添新进展。江苏海思半导体科技有限公司(HISIGK)披露,2026年10月12日,来自境外的客户验收代表团进入其洁净车间,对一台即将出口的全自动光刻机完成出厂验收。按双方约定,设备在验收通过后将立即启程发运,这将是HISIGK自2024年以来向境外市场交付的第17台光刻设备。

就在验收次日,即10月13日,另一台8英寸全自动光刻机也在HISIGK完成出厂调试与客户验收,并正式装车发运。该设备将用于硅基Micro LED晶圆的图形化制程。此次发运的机型为面向8英寸(200mm)晶圆的全自动掩模对准光刻机。

公开信息显示,HISIGK与华为旗下海思技术有限公司并非同一实体。该公司称其核心团队具备15年黄光区光刻工艺经验,产品演进路径清晰:2019年实现1μm级全自动接触式光刻机规模商用,2023年推出商用步进式光刻机,2024年发布350nm/500nm分辨率步进式投影光刻机。

目前,HISIGK在苏州相城与成都天府新区形成双基地布局,产品线覆盖2至12英寸晶圆单面、双面对准光刻设备,下游应用涉及MEMS、集成电路、化合物半导体、功率器件、3D封装(TSV)以及AR/Micro LED等领域。连续向境外客户交付设备,显示其在细分光刻市场中的出货节奏趋于稳定。

光刻机江苏海思半导体设备Micro LED
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