三星亚10nm DRAM路线图生变:首代节点转向混合键合,4F²方案退居D0a-V
摘要
韩媒报道,三星电子调整先进内存路线图,首代亚10nm级DRAM将采用混合键合结构,原计划的4F² VCT方案代号改为D0a-V。新版D0a节点将存储阵列与外围电路分晶圆制造后以W2W键合,工艺已获量产验证,商业化门槛相对更低。
三星电子在先进DRAM技术路径上作出了一次关键调整。据韩媒ZDNET Korea报道,三星存储器业务近期更新了其先进内存技术的路线图,首代亚10nm级DRAM将采用混合键合结构,而非此前规划的垂直通道晶体管方案。
这一调整涉及两个平行开发的亚10nm节点。按照新路线图,混合键合的B1b节点被扶正为新的D0a工艺,计划在第7代10nm级1d nm之后导入;而原本计划用于D0a的4F² VCT方案,代号随之调整为D0a-V。这意味着三星在首代亚10nmDRAM上,优先选择了混合键合这条路径。
在具体实现上,新版D0a节点将把存储阵列与外围电路分别放在不同晶圆上制造,再通过W2W(晶圆对晶圆)混合键合将两部分结合。这种分工方式允许针对阵列和外围器件分别进行优化,相关工艺已在3D NAND上得到广泛应用。
从技术门槛看,混合键合已在量产级别得到验证,而4F² VCT需要高深宽比蚀刻来形成垂直通道,前者的DRAM商业化难度相对更低。三星此次路线图调整,反映出其在亚10nmDRAM世代对量产可行性的权衡。
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