台积电在离开龙潭三年后，决定重新回到这片土地布局先进制程。据中国台湾《经济日报》报道，新竹科学园区龙潭园区扩建计划草案已于9月18日通过审议，为台积电重返龙潭扫清了关键障碍。

该扩建计划涉及约104公顷土地，总开发经费约956.28亿元新台币（约合201.2亿元人民币）。全案完成后，估计可创造每年约5500亿元新台币（约合1157.2亿元人民币）产值，并带动4500个就业机会。根据规划，2028年底前将完成环评及土地开发许可审议，2030年启动园区公共工程设计施工。

台积电供应链透露，龙科三期将优先锁定1.4纳米（A14）以下埃米世代先进制程，初步规划三座晶圆厂。首座厂目标2030年前后完工并进入量产准备，整体投资规模估计超过1万亿新台币（约合2104亿元人民币）。

龙科三期的推进并非一帆风顺。竹科管理局原规划开发158.59公顷，但约88%征收范围属私人土地，引发居民强烈反弹。台积电2023年10月宣布不再考虑进驻，先进制程扩产重心转向高雄等地。时隔三年，竹科管理局将开发范围缩减至约104公顷，降低私人土地征收比例并重启地方沟通，台积电随后再度表达进驻意愿。此次基地定位也与三年前不同，现阶段倾向优先配置给埃米世代晶圆制造，先进封装产能则以嘉义、南科为主要据点。