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大厂 昨天 · 星期一 · 09-14 15:31 约 1 分钟读完

镓仁半导体12英寸氧化镓晶体等径生长成功,产业化迈出关键一步

摘要

杭州镓仁半导体宣布全球首次实现12英寸氧化镓晶体等径生长,基于自研SCIENCE系列VB法长晶设备。等径生长是晶体产业化的关键环节,可提升晶锭利用率、降低衬底成本,并与主流硅产线兼容,减少下游投资。

9月14日,杭州镓仁半导体有限公司对外宣布,该公司依托自主研发的SCIENCE系列VB法长晶设备,在全球范围内首次实现了12英寸氧化镓晶体的等径生长。这一进展标志着氧化镓晶体在产业化道路上迈出了重要一步。

等径生长是晶体从实验室走向规模化生产的关键环节。只有当晶锭形成直径恒定的等径段,才能获得连续稳定、可直接用于切磨加工的有效部分。等径段越厚,单根晶锭可切割出的合格衬底片数量就越多,单片衬底的成本也随之下降。此外,12英寸氧化镓衬底与主流硅产线兼容度较高,有助于降低下游企业的设备投资和产线切换成本,缩短研发周期。

值得关注的是,今年3月,镓仁半导体已实现全球首次8英寸氧化镓同质外延生长,相关成果通过了国内外第三方机构的权威认证。据官方介绍,其自研的SCIENCE系列VB法长晶设备温控精度达到±0.1℃,具备“设备+工艺包”一体化能力,并实现了从2英寸到12英寸晶体的快速迭代。

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