TOTO加码半导体材料,600亿日元新建陶瓷工厂2029年投产
摘要
日本卫浴企业TOTO宣布投资600亿日元在福冈丰前基地新建3.6万平方米工厂,生产面向半导体蚀刻工艺的静电吸盘与气溶胶沉积薄膜,预计2029财年上半年投产;另投110亿日元在大分中津工厂购置AD组件量产设备。
以卫浴产品为人熟知的日本企业TOTO(东陶),正在把半导体材料业务推向更重要的位置。10月30日,该公司宣布将在福冈丰前生产基地内新建一座生产设施,总建筑面积3.6万平方米,总投资额600亿日元(约合25.35亿元人民币),计划于2029财年上半年投产。
新工厂的产品指向半导体制造链条中的关键耗材。据披露,该基地将制造新一代静电吸盘和气溶胶沉积(AD)薄膜,两者均应用于半导体蚀刻工艺,具备出色的等离子体腐蚀耐受性能,这对保障蚀刻环节的稳定性与良率具有直接意义。
除福冈新厂外,TOTO还将同步扩充既有产能。公司计划在位于大分中津的两家工厂购置下一代AD组件的量产设备,相关投资约110亿日元(约合4.65亿元人民币),预计2028财年投产,时间上略早于福冈新工厂。
从投资节奏看,TOTO在半导体陶瓷材料领域的布局正沿着“先扩产AD组件、再落地新工厂”的路径推进。对于这家长期以卫浴为主业的企业而言,连续加码蚀刻工艺相关材料,意味着其半导体业务的分量正在提升,后续产能释放情况值得关注。
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